Hardness and assessment of adhesion of monolayer and multilayer nickel thin films electrochemically deposited on silicon substrates with and without the ultrasonic agitation
Tvrdoća i procena adhezije jednoslojnih i višeslojnih tankih filmova nikla elektrohemijski deponovanih na silicijumskim podlogama sa i bez ultrazvučnog mešanja
Authors
Lamovec, Jelena
Jović, Vesna

Jaćimovski, Stevo
Jovanov, Goran

Radojević, Vesna
Šetrajčić, Jovan

Article (Published version)
Metadata
Show full item recordAbstract
Composite systems of monolayer and multilayer nickel films electrochemically deposited on single crystal (100)-oriented silicon wafers were fabricated with and without the ultrasonic agitation. The hardness and adhe-sion behaviour of these composite structures were characterized by Vickers microindentation test. The dependence of composite microhardness and film adhesion on the structure of the film and mixing conditions of electrolyte were analysed. Mathematical models of Chicot-Lesage and Chen-Gao were applied to experimental data in order to obtain the film hardness and adhesion parameter respectively. It is confirmed that the mechanical properties of composite systems of nickel thin films on silicon substrate can be enhanced by formation of multilayer film structure by ultrasound-assisted electrodeposition and by reducing the layer thickness in the multilayer film.
Formirani su kompozitni sistemi od jednoslojnih i višeslojnih filmova nikla elektrohemijski deponovanih sa i bez ultrazvučnog mešanja na pločicama od monokristalnog silicijuma orijentacije (100). Tvrdoća i adhezija tih kompozitnih struktura su okarakterisane testom mikrotvrdoće po Vikersu. Analizirana je zavisnost mikrotvrdoće kompozita i adhezije filma od strukture filma i uslova mešanja elektrolita. Matematički modeli Šiko-Lezaža i Čen-Gaoa su primenjeni na eksperimentalne podatke kako bi se dobile vrednosti tvrdoće filma i parametra adhezije. Potvrđeno je da se mehanička svojstva kompozit-nih sistema sastavljenih od tankih filmova nikla na silicijumskoj podlozi mogu poboljšati formiranjem višeslojne strukture filmova, primenom ultrazvučnog mešanja pri elektrodepoziciji i smanjenjem debljine sloja u višeslojnom filmu.
Keywords:
composite hardness / film adhesion / ultrasound-assisted electro-deposition / multilayer nickel films / kompozitna tvrdoća / adhezija filma / ultrazvučno potpomognuta elektrodepozicija / višeslojni film niklaSource:
NBP : Journal of Criminalistic and Law : Žurnal za kriminalistiku i pravo, 2019, 24, 1, 17-29Publisher:
- Belgrade : University of Criminal Investigation and Police Studies
Funding / projects:
- Micro- Nanosystems and Sensors for Electric Power and Process Industry and Environmental Protection (RS-32008)
- Predefined functional properties polymer composite materials processes and equipment development (RS-34011)
- Inovation of Forensic Methods and their Application (RS-34019)
Collections
Institution/Community
JakovTY - JOUR AU - Lamovec, Jelena AU - Jović, Vesna AU - Jaćimovski, Stevo AU - Jovanov, Goran AU - Radojević, Vesna AU - Šetrajčić, Jovan PY - 2019 UR - http://jakov.kpu.edu.rs/handle/123456789/929 AB - Composite systems of monolayer and multilayer nickel films electrochemically deposited on single crystal (100)-oriented silicon wafers were fabricated with and without the ultrasonic agitation. The hardness and adhe-sion behaviour of these composite structures were characterized by Vickers microindentation test. The dependence of composite microhardness and film adhesion on the structure of the film and mixing conditions of electrolyte were analysed. Mathematical models of Chicot-Lesage and Chen-Gao were applied to experimental data in order to obtain the film hardness and adhesion parameter respectively. It is confirmed that the mechanical properties of composite systems of nickel thin films on silicon substrate can be enhanced by formation of multilayer film structure by ultrasound-assisted electrodeposition and by reducing the layer thickness in the multilayer film. AB - Formirani su kompozitni sistemi od jednoslojnih i višeslojnih filmova nikla elektrohemijski deponovanih sa i bez ultrazvučnog mešanja na pločicama od monokristalnog silicijuma orijentacije (100). Tvrdoća i adhezija tih kompozitnih struktura su okarakterisane testom mikrotvrdoće po Vikersu. Analizirana je zavisnost mikrotvrdoće kompozita i adhezije filma od strukture filma i uslova mešanja elektrolita. Matematički modeli Šiko-Lezaža i Čen-Gaoa su primenjeni na eksperimentalne podatke kako bi se dobile vrednosti tvrdoće filma i parametra adhezije. Potvrđeno je da se mehanička svojstva kompozit-nih sistema sastavljenih od tankih filmova nikla na silicijumskoj podlozi mogu poboljšati formiranjem višeslojne strukture filmova, primenom ultrazvučnog mešanja pri elektrodepoziciji i smanjenjem debljine sloja u višeslojnom filmu. PB - Belgrade : University of Criminal Investigation and Police Studies T2 - NBP : Journal of Criminalistic and Law : Žurnal za kriminalistiku i pravo T1 - Hardness and assessment of adhesion of monolayer and multilayer nickel thin films electrochemically deposited on silicon substrates with and without the ultrasonic agitation T1 - Tvrdoća i procena adhezije jednoslojnih i višeslojnih tankih filmova nikla elektrohemijski deponovanih na silicijumskim podlogama sa i bez ultrazvučnog mešanja VL - 24 IS - 1 SP - 17 EP - 29 DO - 10.5937/nabepo24-19682 ER -
@article{ author = "Lamovec, Jelena and Jović, Vesna and Jaćimovski, Stevo and Jovanov, Goran and Radojević, Vesna and Šetrajčić, Jovan", year = "2019", abstract = "Composite systems of monolayer and multilayer nickel films electrochemically deposited on single crystal (100)-oriented silicon wafers were fabricated with and without the ultrasonic agitation. The hardness and adhe-sion behaviour of these composite structures were characterized by Vickers microindentation test. The dependence of composite microhardness and film adhesion on the structure of the film and mixing conditions of electrolyte were analysed. Mathematical models of Chicot-Lesage and Chen-Gao were applied to experimental data in order to obtain the film hardness and adhesion parameter respectively. It is confirmed that the mechanical properties of composite systems of nickel thin films on silicon substrate can be enhanced by formation of multilayer film structure by ultrasound-assisted electrodeposition and by reducing the layer thickness in the multilayer film., Formirani su kompozitni sistemi od jednoslojnih i višeslojnih filmova nikla elektrohemijski deponovanih sa i bez ultrazvučnog mešanja na pločicama od monokristalnog silicijuma orijentacije (100). Tvrdoća i adhezija tih kompozitnih struktura su okarakterisane testom mikrotvrdoće po Vikersu. Analizirana je zavisnost mikrotvrdoće kompozita i adhezije filma od strukture filma i uslova mešanja elektrolita. Matematički modeli Šiko-Lezaža i Čen-Gaoa su primenjeni na eksperimentalne podatke kako bi se dobile vrednosti tvrdoće filma i parametra adhezije. Potvrđeno je da se mehanička svojstva kompozit-nih sistema sastavljenih od tankih filmova nikla na silicijumskoj podlozi mogu poboljšati formiranjem višeslojne strukture filmova, primenom ultrazvučnog mešanja pri elektrodepoziciji i smanjenjem debljine sloja u višeslojnom filmu.", publisher = "Belgrade : University of Criminal Investigation and Police Studies", journal = "NBP : Journal of Criminalistic and Law : Žurnal za kriminalistiku i pravo", title = "Hardness and assessment of adhesion of monolayer and multilayer nickel thin films electrochemically deposited on silicon substrates with and without the ultrasonic agitation, Tvrdoća i procena adhezije jednoslojnih i višeslojnih tankih filmova nikla elektrohemijski deponovanih na silicijumskim podlogama sa i bez ultrazvučnog mešanja", volume = "24", number = "1", pages = "17-29", doi = "10.5937/nabepo24-19682" }
Lamovec, J., Jović, V., Jaćimovski, S., Jovanov, G., Radojević, V.,& Šetrajčić, J.. (2019). Hardness and assessment of adhesion of monolayer and multilayer nickel thin films electrochemically deposited on silicon substrates with and without the ultrasonic agitation. in NBP : Journal of Criminalistic and Law : Žurnal za kriminalistiku i pravo Belgrade : University of Criminal Investigation and Police Studies., 24(1), 17-29. https://doi.org/10.5937/nabepo24-19682
Lamovec J, Jović V, Jaćimovski S, Jovanov G, Radojević V, Šetrajčić J. Hardness and assessment of adhesion of monolayer and multilayer nickel thin films electrochemically deposited on silicon substrates with and without the ultrasonic agitation. in NBP : Journal of Criminalistic and Law : Žurnal za kriminalistiku i pravo. 2019;24(1):17-29. doi:10.5937/nabepo24-19682 .
Lamovec, Jelena, Jović, Vesna, Jaćimovski, Stevo, Jovanov, Goran, Radojević, Vesna, Šetrajčić, Jovan, "Hardness and assessment of adhesion of monolayer and multilayer nickel thin films electrochemically deposited on silicon substrates with and without the ultrasonic agitation" in NBP : Journal of Criminalistic and Law : Žurnal za kriminalistiku i pravo, 24, no. 1 (2019):17-29, https://doi.org/10.5937/nabepo24-19682 . .